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　　目前，我國(guó)石化行業(yè)大量使用的壓力變送器主要依靠進(jìn)口，國(guó)產(chǎn)的壓力變送器在產(chǎn)品種類和性能方面和國(guó)外還有一定的差距。實(shí)現(xiàn)壓力傳感器的國(guó)產(chǎn)化，對(duì)于國(guó)家的經(jīng)濟(jì)和國(guó)防安全，振興民族產(chǎn)業(yè)等都具有重要意義。本文通過(guò)對(duì)比研究在石化領(lǐng)域使用的國(guó)內(nèi)外幾種典型的壓力變送器，分析了壓力傳感器國(guó)產(chǎn)化的關(guān)鍵所在。通過(guò)努力，可以打破基于MEMS傳感器的壓力變送器國(guó)外的壟斷地位，實(shí)現(xiàn)石化行業(yè)壓力傳感器的國(guó)產(chǎn)化。

　　在現(xiàn)代化連續(xù)生產(chǎn)的過(guò)程中，穩(wěn)定可靠的壓力變送器是生產(chǎn)工藝過(guò)程的有力保障。一旦出現(xiàn)計(jì)量錯(cuò)誤，甚至發(fā)生停機(jī)故障，隨之而來(lái)的經(jīng)濟(jì)損失將是無(wú)法計(jì)數(shù)的。壓力變送器的穩(wěn)定性和可靠性成為石化行業(yè)對(duì)壓力變送器的首要需求。

　　通常，壓力變送器的測(cè)量會(huì)隨著工作環(huán)境和靜壓的變化而發(fā)生漂移。在一些微小的壓力或者差壓測(cè)量場(chǎng)合，這個(gè)漂移很可能是比較嚴(yán)重的。在不同的工作條件下，得到相對(duì)最正確的測(cè)量，從而維護(hù)生產(chǎn)的穩(wěn)定和保證工藝的一致，是壓力變送器穩(wěn)定性的體現(xiàn)，也是石化行業(yè)對(duì)壓力變送器穩(wěn)定性的要求。

　　微壓力傳感器是采用半導(dǎo)體材料和MEMS工藝制造的新型壓力傳感器。與傳統(tǒng)壓力傳感器相比，微壓力傳感器具有精度高、靈敏度高、動(dòng)態(tài)特性好、體積小、耐腐蝕、成本低等優(yōu)點(diǎn)。純單晶硅的材料疲勞小，采用這種材料制造的微壓力傳感器的長(zhǎng)期穩(wěn)定性好。同時(shí)，微壓力傳感器易于與微溫度傳感器集成，增加溫度補(bǔ)償精度，大幅提高傳感器的溫度特性和測(cè)量精度。如果將2個(gè)微壓力傳感器集成，又可以實(shí)現(xiàn)靜壓補(bǔ)償，從而提高壓力傳感器的靜壓特性。由此可見(jiàn)，微壓力傳感器具有許多傳統(tǒng)壓力傳感器不具備的優(yōu)點(diǎn)，能夠很好地滿足石化行業(yè)對(duì)壓力傳感器的需求。

　　在MEMS壓力傳感器科研及其產(chǎn)業(yè)化方面進(jìn)行了一系列嘗試，其生產(chǎn)的MEME壓力變送器引進(jìn)美國(guó)先進(jìn)設(shè)備，基于國(guó)際先進(jìn)的MEMS技術(shù)，采用先進(jìn)的玻璃微溶生產(chǎn)工藝，運(yùn)用國(guó)際先進(jìn)的總線操作技術(shù)，寬溫度數(shù)字補(bǔ)償?shù)臄?shù)據(jù)采集調(diào)試系統(tǒng)，保證了產(chǎn)品的高品質(zhì)，將嚴(yán)格的高品質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)和先進(jìn)的合作理念帶到中國(guó)。

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