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MEMS壓力傳感器在眾多領(lǐng)域的廣泛應用!
來源:賽斯維傳感器網(wǎng) 發(fā)表于 2013/5/24

   MEMS壓力傳感器是一種薄膜元件,受到壓力時變形?梢岳脩儍x(壓阻型感測)來測量這種形變,也可以通過電容感測兩個面之間距離的變化來加以測量。這兩種方法都很流行,輪胎壓力監(jiān)測系統(tǒng)使用比較結(jié)實的壓阻方法。

   汽車產(chǎn)業(yè)仍然是MEMS壓力傳感器的最大應用領(lǐng)域,占其銷售額的72%,其次是醫(yī)療電子占12%,工業(yè)領(lǐng)域占10%,消費電子與軍用航空占據(jù)其余的6%市場。

  在汽車領(lǐng)域,引擎管理是其主要應用,包括汽油發(fā)動機中的歧管空氣壓力傳感器和柴油車中的共軌壓力傳感器,尤其是在歐洲。為了改善燃燒情況,有些組織也在研究可以在汽缸內(nèi)工作的壓力傳感器,以更好地測量參與化學反應的各種物質(zhì)的準確比例,并把數(shù)據(jù)反饋給引擎管理系統(tǒng)。

   由于工作環(huán)境惡劣,汽車傳感器的價格比消費類傳感器高得多。另外,汽車傳感器需要較長的鑒定時間,而且這些傳感器必須能可靠工作長達15年的時間。有些傳感器,比如剎車或輪胎壓力傳感器,對于汽車安全至關(guān)重要。

   MEMS壓力傳感器在汽車中的一個新應用是傳動系統(tǒng)壓力感測,通常用于自動裝置之中,但也用于新型雙離合器傳動系統(tǒng)。

   在醫(yī)療市場,壓力傳感器主要充當外科手術(shù)使用的一次性低成本導管。但它們也用于昂貴的設備之中,在連續(xù)氣道正壓通氣(CPAC)機中感測壓力與差流。這些器件潛力巨大,可能在2015年以后成為可植入傳感器?芍踩雮鞲衅鞑恍枰姵鼐湍芄ぷ鳎梢杂糜谛呐K測量和監(jiān)測青光眼。

   在工業(yè)領(lǐng)域,MEMS壓力傳感器的主要應用包括采暖通風及空調(diào)(HVAC)、水平面測量、各種工業(yè)過程與控制應用。例如,除了精確的高度氣壓測量,飛機使用傳感器監(jiān)測引擎、襟翼等其它部件。

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